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中国电子科技集团第55研究所

来源:武汉克莱澳科技 浏览量: 1052 发布日期:2019-12-03 09:40:44

2012年8月,克莱澳公司向中国电子科技集团第55研究所使用的,用于芯片制造的分子束外延(MBE)设备提供液氮注入服务。分子束外延设备对真空度以及真空管道保温效果要求很高,由于要获得超高真空同时避免蒸发器中的杂质污染需要大量的液氮,因此MBE对液氮加注设备,尤其是液氮加注设备的管道质量提出了极高的要求。克莱澳公司立足于自研设备,同时吸收外国设备的先进技术,为55所的MBE设备量身定做了一套液氮加注方案,公司工程师与55所教授们经过充分的沟通、交流,完成了液氮加注设备的安装、调试工作。经实际运行证实:克莱澳公司提供的方案完全契合了55所对芯片生产工艺的要求。克莱澳公司也因此成为了国内较早掌握芯片级液氮加注设备的公司。


南京55半导体生产线.jpg